Quantification of Uncertainties in Nano Optical Metrology (QUNOM) is een jaarlijkse workshop waarin jonge PI's, PostDocs en promovendi op het gebied van natuurkunde en wiskunde meetaspecten en wiskundige benaderingen van optische data-analyse bespreken. Dit jaar organiseerde de UT de workshop. Collega's uit Nederland, Duitsland, België, Frankrijk en Engeland woonden de workshop bij.
Het idee voor de workshop komt van de Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) Berlijn. PTB is een Duits metrologie-instituut met uitgebreid onderzoek op het gebied van röntgen- en EUV-metrologie van nanostructuren en speelt een cruciale rol op verschillende gebieden. Bijvoorbeeld het mogelijk maken en ontwikkelen van EUV-lithografie. XUV en de nieuw ontwikkelde XTS-groepen van de UT werken veel samen met PTB voor de karakterisering van reflecterende meerlaagse coatings en de verbetering van de nauwkeurigheid van dunne filmkarakterisering.
De moderne ontwikkeling van optische metingen vereist samenwerking tussen röntgen- en optische wetenschappers en wiskundigen. Hoewel dit voor de hand lijkt te liggen, is het nog steeds een belangrijk aandachtspunt. Dr. Igor Makhotkin, assistant professor bij XUV, zegt: "We organiseerden de QUNOM-workshop om jonge onderzoekers bewust te maken van de noodzaak van interdisciplinaire samenwerking. We stimuleerden ze om een dynamische gemeenschap op te bouwen. We bespraken meetaspecten en wiskundeprincipes van optische gegevensanalyse met een sterke focus op de analyse van onzekerheden."
Dr. Makhotkin: "Het programma richtte zich op de fysica en wiskunde achter de de analyse van röntgenverstrooiing en coherente beeldvorming. We organiseerden een praktische workshop waarbij deelnemers leerden hoe ze onzekerheid kunnen bepalen. Daarnaast was er een publieksevenement voor het EU-project ATMOC. Dat was gericht op de karakterisering van optische constanten op ultradunne lagen in een breed spectrum aan diapason. Bedrijven die actief zijn in de metrologie-industrie ondersteunden de workshop, waaronder OptiX fab. (een fabrikant van geavanceerde EUV, zachte en harde röntgenspiegels), Malvern Panalytical (een toonaangevende fabrikant van röntgenapparatuur uit Almelo) en het MESA+ instituut.
Dr. Sebastian Heidenreich en Dr. Victor Soltwisch, medeorganisatoren van PTB, verklaarden: "De QUNOM workshop was echt een belangrijk en goed georganiseerd evenement. Het bood jonge wetenschappers een waardevolle gelegenheid om samen te werken. Het overbrugt de kloof tussen wiskunde, natuurkunde en techniek in de nanometrologie. De inzichten en best practices van de deelnemers leverden waardevolle bijdragen aan het Europese gezamenlijke onderzoeksproject ATMOC".
