De faculteit Technische Natuurwetenschappen (TNW) van de Universiteit Twente heeft Frank Schuurmans aangesteld als hoogleraar in de vakgroep XUV. Schuurmans, voorheen werkzaam als vicepresident research bij ASML, zal zijn expertise inzetten om een brug te slaan tussen de academische wereld en de industrie. Hij is daarmee de opvolger van Jos Benschop die afgelopen jaar zijn tienjarige opdracht als ‘NNV hoogleraar Industriële Natuurkunde’ afrondde.
Schuurmans zal promovendi begeleiden en onderzoek doen dat zich richt op de stabiliteit van dunne films. Computerchips worden tegenwoordig in EUV-lithografiesystemen gemaakt. In die systemen zitten spiegels die het Extreem UltraViolet licht (EUV) optimaal weerkaatsen en ultradunne membranen (‘pellicles’) die het licht juist doorlaten. Beide onderdelen bestaan uit een combinatie van dunne lagen.
Die dunne lagen gaan echter nog niet lang genoeg mee. In de EUV-lithografiesystemen werken ze in extreme condities en beschadigen ze te snel. Daarom gaat Schuurmans onderzoeken hoe de dunne films reageren onder verschillende condities om zo een dunne film te ontwikkelen die beter tegen de extreme condities kan. Uiteindelijk gaan dan die spiegels en pellicles – en daarmee de EUV-lithografiesystemen – een stuk langer mee.
Schuurmans is verheugd over zijn nieuwe rol bij XUV en is vastbesloten om zijn kennis en ervaring te delen met zowel studenten als onderzoekers. Hij wil de verbinding leggen tussen de academische en industriële omgevingen. "Het is een eer om deel uit te maken van de UT, er heerst hier een hele collegiale sfeer waar studenten, docenten, onderzoekers, en hoogleraren op gelijke voet met elkaar samenwerken" aldus Frank Schuurmans.
Wie is Frank Schuurmans
Prof. Dr. Frank Schuurmans heeft een indrukwekkende staat van dienst, waaronder zijn rol als hoofd research bij ASML. In 1999 promoveerde hij aan de Universiteit van Amsterdam. Gedurende zijn carrière heeft Schuurmans gewerkt voor verschillende bedrijven zoals Philips en FEI voordat hij zich bij ASML aansloot, waar hij de afgelopen twaalf jaar heeft gewerkt. In zijn laatste twee jaar daar was hij als vicepresident research verantwoordelijk voor al het onderzoek van ASML.
